주)엘티에스

| 회사소개 | 제품소개 | 고객지원 | 견적문의

            Spin Coater (LT-MS Series)

         시스템 특장점

            탁상형 Spin Coater
            Manual Loading & Auto Process
            AC Servo Motor (5000rpm, Option : 7,000rpm)
            PLC Control & 4" Touch Panel
            저소음,저진동의 메카니즘 구현
            다양한 형태의 Spin Chuck 제작

적용 분야

학교, 연구소, 기업체 연구개발용
반도체, LED, MEMS, 바이오소자등 연구개발용

시스템 Specification

   Spin Coater
      - LT-MS Series
      - LT-MS CB
      - LT-MS DC
      - LT-SS SC
      - LT-SS AD
      - LT-SS CB
      - LT-SS CSC

Spin Develop System

Spin Cleaning System

   Track System
      - LT-AS Series
      - LT-AS MLC Track
      - LT-AS (Spin Wet System)

ITEM	LT-MS 100	LT-MS 200	LT-MS 300
Substrate Size	Max 4" Wafer	Max 8" Wafer	Max 12" Wafer
Spin Motor	AC Servo Motor
Spin Speed	Max 5,000	Max 5,000	Max 3,000
Chuck	Aluminum / Acetal / Peek
Bowl Size	230mm	330mm	430mm
Controller / Display	PLC / 4" Color touch panel
Recipe	20 steps 20 recipes
Option	Auto dispense module / EBR, BSR finction Spin speed : 7,000rpm(중공축 Motor)